微系统相关,MST的前景是壮观的,其工艺是从集成电路加工派生出的批量加工技术。预期,MST将会同集成电路一样,通过新的而且便宜的产品来改变人们的生活。MST的潜在应用包括汽车里的压力传感器和加速度计,也包括流量传感器、温度传感器、力传感器、位置传感器、磁场传感器、化学传感器、光传感器、红外辐射产传感器等,MST不但便宜,而且具有独特的性能。我们认为,下一代的器件将使用微泵、流量传感器、微混合器、微筛、微反应器等,在医药、过程控制、化学分析等领域应用在生物、化学和生化分析系统中。再向未来做进一步展望,微型机器人将应用在电荷耦合器件(CCD)照相机中,对CCD芯片的位置做主动的优化;也可以应用在C