目前国内先进的等离子体设备使用的射频电源,其主要技术性能(如输出功率、频率,阻抗匹配网络等)已和国外同类电源基本一致,但在自动化程度上,体积上以及应用领域方面还有一定的差距。因此,要跟上国际水平,还要开展以下一些工作。