Ca(Mg1/3Ta2/3)O3薄膜的结构与介电性能,曹越,沈杰,用Pechini法通过不同次数涂覆成功制备了不同厚度的Ca(Mg1/3Ta2/3)O3均质薄膜,并用平行板电容器法测量了Ca(Mg1/3Ta2/3)O3薄膜介电性能。薄膜厚