双面接触式电容压力传感器的设计

双面接触式电容压力传感器的原理是基于单面接触式电容压力传感器而来的。其工作原理:当传感器的受压膜片(即梁)与基底距离很近时,膜片受压后与基底接触,当压力变化时,通过改变接触面积的大小来改变电容量。图1给出了典型的双面接触式电容压力传感器的一般结构及其工作的模拟仿真曲线。