Zernike面型拟合,变形包括刚体位移和表面变形, 将对光学系 统的成像品质产生不同的影响 。文章通过Matlab 软件, 对有限元分析后的数据进行处理, 用 Zernike 多项式 精确拟合变形后的镜面面形,并在Matlab 中绘出镜面面形云图,