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光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一。主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上,为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。光刻的成本约为整个硅片制造工艺的1/3,耗费时间约占整个硅片工艺的40~
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首先安装编程软件,你必须使用这个版本的编程软件,3.62版。安装完成后用Kgl_Wc文件替换安装文件夹下的同名文件即可。联机下载后若提示密码输入,可以不予理睬,关闭即可,程序可以照常下载。
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