轮廓仪是一种两坐标测量仪器(见图1),它由工作平台、夹具、被测工件、探针、传感器和伺服驱动等部件组成(见图2)。 图1 某种型号的接触式轮廓仪 图2 接触式轮廓仪的示意图 接触式轮廓仪的工作原理是,探针接触到被测工件表面并匀速滑行,传感器感受到被测表面的几何变化,在X和Z方向分别采样,并转换成电信号。该电信号经放大等处理,转换成数字信号储存在数据文件中(见图3)。