反射光学元件助力多光谱成像系统

反射式物镜可用于多种应用领域,如激光退火或钻孔,可将可见光波长与红外功率传输两者相结合。使用一套光学系统就可丈量波长为190nm到1μm薄膜的厚度。只要在传感器的响应范围之内,成像系统可涵盖各种波长范围而不需要添加任何光学元件。