近年来随着射频微机械技术的发展,MEMS移相器越来越受到人们广泛关注,已经成为人们主要研究的MEMS器件之一。与传统的移相器相比,MEMS移相器多采用半导体材料作衬底,用微机械加工技术制备,具有频带宽、损耗小、成本低、超小型化、易于与IC、MMIC电路集成等优点,因此在微波及毫米波控制电路中具有广泛的应用前景。美国密歇根大学的Barker博士通过在共面波导上周期加载MEMS 金属桥的方法,首先实现了毫米波段宽频带的MEMS移相器,如图1 所示,它的基本原理是通过改变MEMS 金属桥的高度来改变传输路径上的相移常数,从而达到改变相移的目的。本文基于电容耦合式MEMS开关,设计出一种90° 分布式