MOCVD技术在光电薄膜方面的应用及其最新进展

MOCVD技术在半导体材料和器件及薄膜制备方面取得了巨大的成功。尽管如此,MOCVD仍是一种发展中的半导体超精细加工技术,MOCVD技术的进一步发展将会给微电子技术和光电子技术带来更广阔的前景。