MEMS是Micro Electro Mechanical Systems 的字头缩写,可译为微机电系统,微电子机械系统等。它是指采用微机械加工技术可以批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。 MEMS 技术的产生和发展MEMS 的发展史, 最早可追溯到19 世纪1962 年第一个硅微型压力传感器问世,1987 年美国加州大学伯克利分校研制出转子,直径为60-120μm 的硅微型静电电机,1987-1988年间一系列关于微机械和微动力学的学术会议召开。MEMS 一词在这些会议中被广泛采纳并渐渐成为一个世界性的学术用语。1