导读:随着工艺技术的发展,栅的尺寸越来越小,金属的层数越来越多,发生天线效应的可能性就越大。而天线效应则会对小型技术领域产生非常大的影响,因为泄电所带来的损害很可能波及整个栅极。因此,本文对天线效应的产生机理及消除天线效应的方法做出了讨论。 1.天线效应简单介绍 天线效应或等离子导致栅氧损伤是指:在MOS集成电路生产过程中,一种可潜在影响产品产量和可靠性的效应。 在芯片生产过程中,暴露的金属线或者多晶硅(polysilicon)等导体,就象是一根根天线,会收集电荷(如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。天线越长,收集的电荷也就越多,电压就越高。若这片导体碰巧只接了MOS