太赫兹(Terahertz,THz)波位于光子学向电子学的过渡区域,在高速宽带通信、雷达、成像等领域具有重要应用前景。但目前用于THz波动态调控的器件仍比较缺乏,这在一定程度上限制了THz技术的发展。VO2具有独特的金属—绝缘体相变特性,相变过程可以应用于动态调控THz波传输。探索超材料与VO2结合以制备高效、动态、灵活的太赫兹功能器件也是近来的研究热点。简述了VO2的相变特性,并分析了微观结构和化学成分等因素对相变特性的影响;系统回顾了VO2薄膜相变过程中的THz波调控性能研究进展,总结了VO2与超材料不同结合方式在THz波动态调控方面的应用;并对基于VO2相变特性的THz波调控功能器件发展