摘要:硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一,如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法,并在该模型基础上给出了拟合系数计算方法,并用Matlab GUI软件来实现温度补偿系数计算,进而实现传感器输出的动态温补,达到了很好的输出线性性。实验结果表明,补偿后传感器输出的非线性误差小于0.5% F.S. 0 引言 硅压阻式压力传感器利用半导体材料的压阻效应来进行压力测量,以其体积小、灵敏度高、工艺成熟等优点,在各行业中得到了广泛应用。实际工程应用中由于硅材料受温