在20世纪90年代后期发展起来的基于半导体硅电容效应的技术趋于成熟。硅传感器成为电容的一个极板,手指则是另一极板,利用手指纹线的脊和谷相对于平滑的硅传感器之间的电容差,形成8 bit的灰度图像。硅技术优点是可以在较小的表面上获得比光学技术更好的图像质量,在1 cm×1.5 cm的表面上获得200~300线的分辨率(较小的表面也导致成本的下降和能被集成到更小的设备中)。