一、TFT简介 TFT是薄膜晶体管(Thin Film Transistor)英文首字母的简写形式。它具有晶体管的“有源性(开关、放大)”和“薄膜”的“薄”的双重特性,与平板显示屏(例如LCD、OLED等)组合,构成当今的平板电视(TFT-LCD、TFT-OLED),TFT是其中关键核心部件之一。 通常TFT有源材料是硅薄膜,根据硅薄膜结构不同,晶体管分为非晶硅TFT(a-Si TFT)、多晶硅(p-Si TFT)和单晶硅MOSFET(c-Si MOSFET)。此外采用有机材料制备的TFT,称为有机TFT(或者OTFT)。 薄膜晶体管自上世纪60年代发明开始, 已