摘要:介绍了一种可调光栅的制作方法.首先通过紫外线光刻的方法,制作出微米尺度的光栅结构(周期8微米),然后将光栅复制在聚甲基硅氧烷(PDMS)薄膜上,形成内嵌式PDMS光栅.利用PDMS优异的弹性,将此薄膜沿着光栅栅线的方向拉伸,随着栅线的伸长,光栅常数也随之变小,周期调节极限为5微米.传统方法制作可调光栅,工艺条件苛刻,制作过程复杂,难以控制,制作成本高,周期较长.提出的制作可调光栅的方法成本低,周期短,工艺过程简单易控制,可广泛应用于微型光谱仪.扫描仪.光通信等领域. O引言光栅作为一种非常重要的光学元件,被广泛应用于集成光路.光通信.光学互连.光信息处理.光学测量等领域中.与普通光