离子束用于各种应用场合,诸如,质谱仪和离子注入机等。离子束电流通常非常小(μA),所以需要使用静电计或皮安表来进行测量。本文介绍了如何使用6485型皮安表和6487型皮安表/电压源来进行这种测量工作。在电流灵敏度更高时,可以改用静电计来进行测量。