基于低压驱动RFMEMS开关的MEMS开关改进
本文主要从结构上进行了创新,通过计算机辅助设计仿真分析得到了理论解,一定程度上满足了设计初衷,但在工艺上还不成熟。更低的驱动电压和更高的开关频率仍是亟待解决的问题,另外如何保证实际产品的可靠性、实用性也是未来的研究重点。
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