MEMS硅压阻式汽车压力传感器分析

压力传感器的动态特性分析 特性曲线 对编程有帮助

摘要: 设计了双岛梁结构量程是200 Pa 的超微压力传感器,进行了理论分析与计算,并对模片上的电阻条的宽度和长度进行了研究,为传感器惠斯通电桥的设计提供了重要的依据。通过有限元仿真软件,对传感器进行

利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于

GE P592高压硅压力传感器芯片pdf,GE P592高压硅压力传感器芯片

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Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”压力传感器。与现有产品相比,该公司的第一款MEMS产品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相当的优势。此外,Apogee公司还计划

运用MEMS工艺技术生产汽车轮胎压力传感器,具有体积小、重量轻、耗能低、性能稳定,而且有利于大批量生产,降低生产成本,提高产品附加值。同时,拓宽了产品应用范围,提高芯片推广价值和产品的经济效益。 汽车

本文主要介绍了压力I传感器在汽车中的应用。

美国ENTRAN汽车冲击压力传感器 EPXH系列pdf,美国ENTRAN汽车冲击压力传感器 EPXH系列

应用领域/适用场景:乘用车 商用车 方案亮点:传感器通过无线信号把压力温度,电池电压等信息发送到仪表台,驾驶员实时查看轮胎状态,保障行车安全 方案详情:发射端采用英飞凌SP370, 接收端采用TDA5