针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展,提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的加工系统,包括控制单元、激光器、机械结构和光路系统。在介绍了各个部分的功能之后,重点分析了控制单元,包括上位机图形解析平台及以DSP和FPGA为核心的下位机控制硬件。通过实验分析和算法优化,解决了加工误差,在单晶硅表面得到了较好的微结构加工效果。