测试CMOS电路的方法有很多种,测试逻辑故障的一般方法是采用逻辑响应测试,即通常所说的功能测试。功能测试可诊断出逻辑错误,但不能检查出晶体管常开故障、晶体管常闭故障、晶体管栅氧化层短路,互连桥短路等物理缺陷引发的故障,这些缺陷并不会立即影响电路的逻辑功能,通常要在器件工作一段时间后才会影响其逻辑功能。