导通电阻的准确测量是低导通电阻MOSFET测试中的一个难点。介绍了一种用于低导通电阻MOSFET测试过程中自动校验测试系统的方法。通过在DUT板上增加高精度低阻值标准电阻测试回路的方法,在正式测试前对测试系统进行自动校验,校验合格后继续对MOS管进行测试,否则将停止测试;避免了由于自动测试设备(ATE)、DUT板、金手指等测试单元的精度漂移、器件老化等因素导致测试不准确的情况,保证了产品的测试精度,对提升测试的品质具有重要意义。