摘 要: 介绍了一种对ST-103A 型手动探针测试台进行自动化改造的设计方案。在原设备的基础上, 引进步进电机代替原来的手轮控制;其次, 还引进了摄像头和视频采集卡技术实现对探针台的实时监控;另外, 通过VC + + 编写上位机友好界面既提高了控制精度, 又使得控制更为方便。经测试, 改造后的探针测试台能实现高精度的全自动化控制。 ST-103A型手动探针测试台是一种半导体制作工艺的中间测试设备, 是中国电子科技集团公司第四十五研究所研制生产的。主要由工作台、显微镜、测试探头、打点器和电源等组成。工作台是探针台的主体, 由承片台、台板和X、Y、Z移动平台等部分组成。 但是由于S