0 引言 倾角传感器是测量关于水平倾斜角的装置,倾角变化测量仪器是许多工业应用设备需要具备的一个组成部分,包括测量设备、卫星天线稳定系统、工厂机床、运动安全监视器和汽车轮位对准装置等。准确地测量倾角的变化,有利于这些设备更加稳定的工作及避免事故发生。现在采用的倾角测量仪大多数体积较大,信号采集比较慢,测量精度不高,误差较大,需要做大量的温度补偿和校准工作。这些缺点制约着工业设备性能的提高,也加大了工程的工作量。 ADISl6209是ADI公司新推出的一款精密的微电子机械系统(MEMS)倾斜计,提供小于O.1°线性倾斜误差的全补偿直接角度输出,它使用出厂时安装的校正系数动态地检测系统