摘要:CCD电荷耦合器件是20世纪70年代初发展起来的新型半导体集成光电器件。日前它已成为集光学、电子学、精密机械与计算机技术为一体的综合性技术。它被广泛应用于各种加工件的在线检测和高精度、高速度的非接触检测技术领域。CCD像传感器、光学系统、计算机数据采集和处理系统构成的CCD光电尺寸检测仪器的使用范围和优越性是现有机械式、光学式、电磁式测量仪器都无法比拟的。这与它本身所具有的高分辨率、高灵敏度、像素位置信息强、结构紧凑及其自扫描的特性密切相关。总之,CCD技术是一项很有前景的技术。 1.引言 检测技术是一门应用非常广泛的技术。在许多 领域都会对各种加工件、各种运动物体进行检测,