l 引 言 硅上液晶显示(Liquid Crystal 0n Silicon,LCoS)技术是CMOS半导体集成电路和液晶显示相结合的技术。LCoS技术具有如下优势: (1)可以利用标准CMOS工艺和成熟的LCD工艺线; (2)物理尺寸可以做的非常小; (3)即使像素尺寸非常小,仍可以得到非常高的开口率。 由于其技术和制造优势,LCoS技术有着广泛的应用前景。由于其尺寸小、功耗低、分辨率高,可以用作移动通讯等设备的显示屏,如头盔显示。目前彩色 LCoS显示系统主要分为单片和三片式系统2种,单片式系统对于三片式系统主要有以下优点:体积小,成本低,易于实现小型化;三片