将多个PN型光电探测器组成阵列,可以形成光电成像系统中的摄像器件。摄像器件的功能是将照射到探测器阵列上的光学图像信息以电信号形式按时序串行输出。常见的固体摄像器件有CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)型摄像器件和CCD(ChargeCoupled Device)型摄像器件。CMOS型摄像器件的像素基本结构如图1所示,类似于一个普通的CMOS管。利用源极N+注入和P型衬底形成的pn结光电二极管作为光敏元吸收入射光。当pn结反偏时,光电二级管吸收入射光产生的空穴将向衬底漂移,而光生电子则被源极收集。积累的电子在正的栅极脉冲电压作用下通过表面反型