在功率为15 W疝灯背入射下,测得光谱响应曲线如图1所示,峰值响应波长为286 nm,适合在太阳盲区工作。图中六条不同曲线分别表示在0V、-1V、-2V、-3V、-4V、-5V偏压下的响应度,在没有偏压下响应度为14.8 mA/W,相应的外量子效率为6.4%。在-5V偏压下响应度可达55 mA/W,外量子效率和内量子效率分别为22.5%和28.1%。 由于AlxGa1-xN中Mg的激活能随会Al组分而变化,如图1所示Al组分越高,Mg的激活能也就越大。这样在高Al组分的p-Al 0.4Ga 0.6N层中,由于离化的受主浓度较低导致该层电阻变大,大的电阻不利于提高工作速度。为了解决这一问题