图1是一种三维电感式接触测量头示意图,图2是其结构图。探头1.和导向板2(平行片簧的导向板)刚性连接,导向板2可在箭头豸的方向移动,并通过片簧3、12连接于基板13上。基板13是刚性支架,两个弹簧筒4、11固定在基板13上,内装螺旋弹簧5、9,其轴和箭头豸平行。受预应力的螺旋弹簧5、9压在螺栓挡7、8上,螺栓挡紧靠在三个球10(定位在弹簧座6内)上。变形杆14固定在板2上,其一端通过弹簧座6的一个空穴(位于螺栓挡7,8之间),且和挡之间没有间隙。 图1 三维电感式接触测量头示意图 图2 三维电感式接触测量头结构图 工作过程是:测量头在箭头豸方向运动,当探头1接触到工件后