爱普科斯(EPCOS) 研制出了一系列新型微型多层压电元件。除了已经面市的超薄压电变压器以外,爱普科斯现在又推出了压电弯曲器和谐振器。正是由于有了后者,美国公司New Scale Technologies开发出世界上最小的直线电机。该电机长6mm,高宽面积仅1.55mm2,可直接用2.8V电池供电。 该电机含有一个运行于螺母内的螺纹针。超声波谐振器被激活后,会促使螺母扭转振荡,驱动螺纹针前后运动。这种简单牢固的结构,其允许的前进速度可达10 mm/s,分辨率可精确到0.5 μm。压电谐振器的工作频率为150 kHz的超声波范围之内。 早期压电式直线电机要求30V左右的工