压阻式压力传感器采用集成电路工艺技术,在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻并组成电桥电路,当不受力作用时,电桥处于平衡状态,无电压输出;当受到压力作用时,电桥失去平衡而输出电压,且输出的电压与压力成比例。 压阻式压力传感器具有以下特点: 1压阻式压力传感器的灵敏系数比金属应变式压力传感器的灵敏度系数要大50-100倍。有的时候压阻式压力传感器的输出不需要放大器就可直接进行测量。 2由于它采用集成电路工艺加工,因而结构尺寸小,重量轻。 3压力分辨率高,它可以检测出像血压那么小的微压。 4频率响应好,它可以测量几十千赫的脉动压力。 5由于传感器的力敏元件及检测元件制在同一块硅片上,所以它工