引言 现代汽车正由一个单纯交通工具朝着能满足人类需求和安全、舒适、方便及无污染的方向发展。要实现这些目标的关键在于汽车的电子化和智能化,先决条件则是各种信息的及时获取,这势必要求在汽车中大量采用各种传感器。传统的传感器往往体积和重量大、成本高,它们在汽车的应用受到很大的限制。 近几年来,从半导体集成电路(IC)技术发展而来的微机电系统(microelectronmechnicalsystem,MESM)技术日渐成熟。微型传感器是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件,主要包括利用微型膜片的机械形变产生电信信号输出的微型压力传感器和微型加速度传感器;此外,还有微型