摘要:介绍了氧化物半导体甲烷气体敏感元件的工作机理,论述了改善氧化物半导体甲烷气敏传感器性能的几种途径。采用加入催化剂、控制材料的微细结构、利用新制备工艺和表面修饰等新方法、新技术可提高氧化物半导体甲烷气敏元件的灵敏度、选择性、响应和恢复特性、稳定性。关键词:甲烷;传感器;半导体氧化物中图分类号:TP212.2 文献标识码:A 一、前言 甲烷是一种工业和民用上应用十分广泛的气体,但由于与氧气混合达到一定浓度后具有易燃易爆的性质,所以开发一种成本低、灵敏度高、选择性好、性能稳定的甲烷传感器成了一个热点。近年来对甲烷传感器已有不少研究,主要有光干涉甲烷传感器、金属氧化物半导体气敏传