日前,昆山双桥传感器测控技术有限公司推出了SQPS-A100系列胎压传感器芯片。该系列传感器用力敏芯片系采用硅微机械加工技术制造,采用压阻原理,系绝对压力敏感芯片,采用各向异性腐蚀技术和硅硅直接键合技术在硅片内部形成一个长期稳定的真空基准压力参考腔,在表面硅膜上用集成技术制作成惠斯顿应变检测全桥,从而在受力时输出与压力成线性关系的电压信号。 该系列产品的具体技术参数如下: ▼ 标准压力量程 100、200、700、1500、3500 KPa ▼ 最大过载能力 300 %FS ▼ 输入输出阻抗 5±2 KΩ ▼ 零位输出