Timbre Technologies公司日前发布了其新一代光学数字轮廓测定计量产品(ODP)—TeraGen2.5,这种新产品可提供较短的程序生成时间。 Timbre公司ODP是一项突破性的测量技术,是在一个宽泛的应用范围内,用宽带光提供非破坏性且高速的截面轮廓,包括用户选择的CDs、轮廓参数及厚度测量。ODP正迅速成为工艺提升中广泛采用的光学方法。 TeraGen2.5支持Timbre公司的智能光谱技术,确保较高的建模精度、测试效率和可行性,还包含SD监测工艺,如接触孔和通孔的监测工艺。此外,TeraGen2.5的用户接口具有较大的灵活性和较高的测试效率。 据称应用