电子测量中的高精度超声波微压差测量仪设计

0 引 言 对于微小压差的测最,传统的方法是采用U型管压力计,该压力计结构简单,价格便宜,性能可靠,缺点是无法记录压力的瞬态变化,读数慢而读数误差大,人工估读时,最大精度也只能精确到0.5 mm液柱高度。为了提高灵敏度,减小读数误差,随之又出现了倾斜管压力计,如果倾斜管压力计的测量管倾斜角为30°,则测量精度可提高1倍。 随着压力传感器技术的发展,近年来又出现了电子微压差传感器,可将微小压力直接转换成电信号输出。此类传感器使用方便,反应速度快,精度也可以做得较高,目前比较好的微压传感器测量分辨率已达到10 Pa左右。缺点是稳定性不够好,温漂和时漂都比较大,且价格昂贵。 上述微压测量方法各