TFT LCD检测中基于激光三角法的显微镜离焦快速在线检测及补偿

在几何光学近似下,研究了非稳腔中的离焦像差的演化,解析地给出了正支共焦非稳腔中离焦像差的线性修正公式。结合氧碘化学激光器的模拟结果表明:光腔的放大率越小,像差演化的影响越明显;变形镜直接放在凹面镜处的

分析了目前市面上常见的数字显微镜设计方案的利弊,提出在嵌入式平台上设计数字显微镜具有成本和性能优势。详细阐述了利用XPLD芯片配合大容量的DDR SDRAM实现数字显微镜的方案。具体分析了设计中通过定

为了实现实时快速传输高分辨率图像,设计了x4通道的PCI Express图像采集系统,应用于显微镜自动对焦成像模块的大数据量传输。采用了Altera公司型号为EP4CGX30CF23C8的FPGA,该

采用一种无耦合、三轴精确定位的纳米运动平台作为扫描器,研制了一种新型原子力显微镜(AFM)。该AFM有效消除了通常使用的单管式压电陶瓷扫描器扫描过程中运动耦合产生的两种结构误差——交叉耦合误差和扫描范

光学显微镜物镜成像都源于高斯公式1/ι'-1/ι'=1/f'。对于定焦距物镜来说,系统一旦确定,焦距f'不变,像距ι'也不变。因此,只有靠调整物面沿光轴的位置,才能得到清晰的物镜像(一般称为物镜初次像

图1是其原理图。标尺2经照明系统1照明,物镜3将标尺2上的刻线经析光棱镜4分别成像于两狭缝面5上,如果刻线像相对狭缝有位置变化,则穿过狭缝而到达光电接收组件6的光通量将变化,因此光电管所产生的光电流也

为了解决大口径大偏离量非球面高精度检测问题, 提出子孔径拼接与补偿器混合补偿检测模型。在被检测非球面镜面形精度未达到干涉仪测量动态范围要求, 同时轮廓测量精度不能满足后续加工要求时, 该模型可以实现对

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利用光外差检波所具有的成像作用的显微镜即是光外差激光显微镜。在外差检波中,检测的是频率不同的两种光之间的差频,只当整个光接收面上两种光的相位差一致时才能检测出差拍成分,不一致时在整个光接收器内互相抵消