杨存永, 汪锁发, 赵知夷(中科院微电子研究所, 北京 100029)摘要:对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究。利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台,并可以批量生产。在此基础上利用倒装工艺实现了激光器与单模光纤的无源耦合,出纤光功率达到了毫瓦级,且经过37次高低温冲击性能不变。 关键词:硅基平台;无源耦合;V型槽 中图分类号:TN751.1;TN248 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2005)01-0066-031 引言 随着个人通信由单纯的语音向多媒体方向转变,光纤到户成为一种趋势。但光纤接入网的发展并不顺利,制约光纤接入网发展的主要原因是其成本