专长传感器与混合讯号CMOS技术的新创爱尔兰无晶圆厂IC设计公司ChipSensors,宣布研发出一种新技术,能让IC的表面感测温度、湿度、病原体(pathogens)与某些特定气体。 透过采用一般生产复杂CMOSIC的制程,这种嵌入式感测技术可用来生产现今的工业、科学、医疗用的微型传感器,并透过芯片所配备的微控制器与无线传输功能,将所收集到的资料传送出去。 该专利技术透过在标准的次微米CMOS制程中,采用了low-k电介质材料作为金属联机间的绝缘体。这种材料是多孔隙(porous)的,能选择性地接受或阻绝被感测的媒介渗透,并透过材料的介电常数变化来进行感测。 ChipS