孙晓刚,曾效舒(南昌大学机电学院,江西 南昌 330029)摘要:CVD工艺制备碳纳米管阵列,二甲苯(C6H4(CH3)2作为碳源气体,二茂铁(C10H10Fe)作为催化剂前驱体,反应温度为700~800°C,碳纳米管直径30~60nm,长度50~60μm。 关键词:阵列式碳纳米管;碳纳米管;CVD工艺中图分类号:TN304.18;TB383文献标识码:A文章编号:1671-4776(2003)09-0019-031引言碳纳米管自发现以来,其物理、化学及电子学性能的研究一直在广泛和深入的进行中。碳纳米管具有极高的强度和韧性、优异的导电性能及非常大的长径比,因此被广泛认为是制造场发射器件冷阴极的理