由于传统的大批量生产的方式不能适应小批量、多品种、短周期经济生产的要求,许多半导体厂家、大学和研究部门都在为半导体制造的柔性化和计算机集成制造(CIM)控制开辟新的途径,因此,模拟工厂、可编程工厂等应运而生。 1).模拟工厂 它是以各种不同层次的计算机模拟(例如:工艺、设备、器件、电路及生产线)为基础来完成工厂中设计和制造加工的快速产生试样的软件环境。它们可以被用来设计工艺流程、评估工艺的可能性,使工厂生产率达到最佳化,预测产品的出厂时间,另外还有许多其他功能。 2).可编程工厂 它基本上是用计算机控