引 言 一九七六年卡尔松和路昂斯基报告了无定形硅(简称a-Si)薄膜太阳电池的诞生。当时,小面积样品的光电转换效率为2.4人时隔二十多年,a-Si太阳电池现在已发展成为最用廉价的太阳电池品种之一。非晶硅科技已转化为一支大规模的产业。世界上总组件生产力在每年五十兆瓦以上。组件及相关产品销售额在十亿美元以上,应用范围小到手表、计.器电源大到10儿瓦级的独立电站。涉及诸多品种的电子消费品、照明和家用电源、衣牧,抽水、广播通讯台站电源及中小型联网电站等。a-Si太阳电池成了光伏能源的一支生力对整个光伏洁净可再生能源发展起了巨大的推动作用。非晶硅太阳电池技术的日益成熟增强了人们对作为清洁可再生能源