(中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京东燕郊,065201)摘要:概述了国外半导体制造设备市场现状、市场总规模变化、分类设备市场,探讨了半导体制造设备市场的发展趋势。关键词:半导体制造设备、技术现状、设备市场中图分类号:TN305 文献标识码:C 文章编号:1004-4507(2005)12-0006-04世界半导体设备产业自1998年跌入低谷以后,2000年攀升到一个巅峰,市场周期性变化,再度出现一个余弦波变化曲线,2004年恢复到一个新的峰顶,依靠技术创新推动市场壮大,提升设备制造商市场竞争力,少数几个大公司设备垄断了绝大部分市场。联合开发推进技术进步和形成市场规模效应已成趋势。大公司