洁净室设计和过滤技术的发展,允许我们又回到敞开式加工区域的建设(见图5.12), 在最先进的设计中,空气过滤包括天花板中的HEPA过滤器,并从地板上回收空气,保持持续的洁净空气流。工作台顶部带有贯通穿孔,可使空气无阻碍地流过。 图5.12 洁净室空气层流截面图(国际半导体版权所有) Fresh Air新鲜空气 Fan风扇 Service Chase维修区 Slab Floor混凝土层 Plenum高压区 HEPA Filters HEPA过滤器 Clean Room洁净室 Equip设备 Optical Equip光学设备 Perforated Floor过孔层 Vibration-stiff