洁净室的定期维护是非常必要的。清洁人员必须要穿着与生产人员一样的洁净服,洁净室的清洁器具,包括拖把,也要仔细选择。一般家庭使用的清洁器具太脏,无法在洁净室使用。而且使用真空吸尘器也要特别注意。在真空吸尘器中的排风系统中,装有HEPA过滤器,现在已经可以在洁净室中使用。许多洁净室有内置式真空系统来减少清洁时产生的脏东西。 擦净工艺工作台需要使用特殊的低污染的抹布与海绵。而且擦拭的程序也是非常关键的。墙面的擦拭要从上到下,桌面要从后向前。用喷壶喷洒的清洁剂,应喷到洁净布表面,而不是被清洁物表面。虽然这个方法很简单,但可以减少在晶圆与设备上的不必要的过量喷洒。这样洁净室的清洁本身也就成为支持半导体工