传统的洁净室布局是舞厅式的设计。它由各个工艺隧道向中央走廊敞开的方式组成。现代设计是由一些小型局部洁净车间或主要工艺区域围绕着一个中心地区组成,而由中心地区提供物料和人员。 这种规划一般设计为两层,厂房第一层安置厂务设备与物料,第二层是加工车间。 现在有一种三层加工车间的概念,厂务设备分装在第一、二层,这种方法的优点就是降低整体厂房占地面积。