1 引 言大功率超声波装置除用于工业清洗外,还在医疗、军事、石油换能器技术,以及海洋探测与开发、减噪防振系统、智能机器人、波动采油等高技术领域有着广泛的应用前景[1]。超声波装置由超声波逆变电源和换能器组成。近年来,由于新型稀土功能材料的开发和研制成功,使制造大功率超声波换能器成为可能,但与之配套的高频正弦逆变电源产品尚为少见。目前,市场上的大功率正弦逆变电源均为采用IGBT制成的中低频产品[2],而高频逆变电源大多数是方波电源或占空比可调的脉冲逆变电源。因此,高频大功率正弦逆变电源已成为超声波应用的瓶颈,使得对该电源的研制已成为急待解决的问题。这里,应用混合脉宽调制(Hybrid Pulse