传感技术中的mems压力传感器

1、引言 经过几十年的研究与开发,MEMS器件与系统的设计制造工艺逐步成熟,但产业化、市场化的MEMS器件的种类并不多,还有许多MEMS仍未能大量走出实验室,充分发挥其在军事与民品中的潜在应用,还

重载压力传感器通常用于交通运输应用中,通过监测气动、轻载液压、制动压力、机油压力、传动装置、以及卡车/拖车的气闸等关键系统的压力、液力、流量及液位来维持重载设备的性能。目前,设计工程师要设计更加复杂的

引 言 传统气体压力测量仪器的传感器部分与数据采集系统是分离的,抗干扰的能力较差,并且通常被测对象的压力变化较快。因此不仅要求系统具有较快的数据吞吐速率,而且要能够适应复杂多变的工业环境,具有较好

在挤出生产线中,高温熔体压力传感器在提高熔体质量,提高生产的安全性以及保护生产设备等方面都发挥着重要的作用。同时,高温熔体压力传感器又是非常敏感的元件,只有适当的安装和维护才能使其作用得到充分的发挥。

目前MEMS (M icroelectromechanical System )技术已经朝着微型化、集成化及智能化的趋势发展。基于MEMS工艺的硅压阻式压力传感器已经广泛应用于航空、石油化工、动力机械

0 引言 压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量轻,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器

压力传感器的种类繁多,其性能也有较大的差异,如何选择较为适用的传感器,做到经济、合理。 1. 额定压力范围 额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。也就是在最高和最低温度之间,传感器输出符合规

长野计器展出了通过使用非晶质金属玻璃使灵敏度比原来提高4倍的新型压力传感器。金属玻璃通过射出成形作为振动板使用(压力检测元件),通过在振动板上蒸镀应变片作为压力传感模块来工作。由于灵敏度得到提高,因此

微电机系统(MEMS)使探测器中的传感元件尺寸缩小,从而降低了成本、提高了精度并提供可媲美半导体的集成度。不幸的是,传感器所要探测的世界并不因其尺寸缩小而缩小,较小的MEMS器件更容易被灰尘和其它微粒

日前,一支来自新加坡一家微电子研究所ASTAR的团队制作出一种小型的传感器,这种传感器将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起,从而使得MEMS压力传感器可以更稳定耐用,适用于医疗器械。