硅的晶体结构
每片wafer是单个硅晶体的薄片。下面的水晶结构决定了打破时wafer是怎么裂开的。大多数晶体沿着原子间最薄弱的键cleavage plane裂开。比如,钻石晶体在被金属楔强烈敲击后会裂开。合适方向的敲击可以把钻石分成2半,每个都有完美的平整的表面。如果敲击的方向不对,钻石就会粉碎。硅wafer也有它独特的分裂模式,这可以用零碎的wafer和一叠纸和一支木铅笔来说明。把wafer放在记事本上,把记事本放在膝盖上。取一支木头铅笔,并把有橡皮的一端压在wafer的中央。Wafer应该裂成4或6块楔形的小块,很像派的小块(图 2.2)。裂开方式的均匀性证明了wafer是由单晶硅组成的。 图2.3
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